諧振式壓力傳感器、薄膜壓力傳感器原理

　　諧振式壓力傳感器原理：
 

　　利用諧振元件把被測壓力轉(zhuǎn)換成頻率信號的壓力傳感器。它是諧振式傳感器的重要應(yīng)用方面，主要有振弦式壓力傳感器、振筒式壓力傳感器、振膜式壓力傳感器和石英晶體諧振式壓力傳感器。
 

　　當(dāng)被測參量發(fā)生變化時(shí)，振動(dòng)元件的固有振動(dòng)頻率隨之改變，通過相應(yīng)的測量電路，就可得到與被測參量成一定關(guān)系的電信號。其優(yōu)點(diǎn)是體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊、分辨率高、精度高以及便于數(shù)據(jù)傳輸、處理和存儲等。
 

　　薄膜壓力傳感器原理：
 

　　濺射薄膜壓力傳感器也是利用電阻應(yīng)變效應(yīng)工作的，與傳統(tǒng)應(yīng)變式壓力傳感器屬于同一原理。兩者的主要差別制作工藝上。濺射薄膜壓力傳感器延用了測量壓力的金屬彈性膜片原理，應(yīng)用離子束濺射和刻蝕工藝，將應(yīng)變電橋直接制作在金屬測壓膜上，由于沒有活動(dòng)部件，抗震動(dòng)和抗沖擊能力很強(qiáng)，可用于惡劣的環(huán)境。